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Green系列532nm高功率绿光激光器

产品特点

技术参数

梅曼公司的Elite系列高功率355nm紫外激光器是一款针对硅晶圆划片工艺所设计的高性能激光器。其独特的设计和先进的技术解决了紫外激光晶体损伤、激光器热效应以及光路失调与长期稳定性等核心问题,
使得激光器的寿命和功率稳定性得到质的改变,有效保证了高强度/高一致性加工的要求。
在硅晶圆的隐切和表面切割等划片工艺中,Elite系列高功率355nm紫外激光器表现出卓越的性能。它能够高效地完成硅晶圆的划片工艺,而且能够保持切割道路的整齐、光滑和一致性,从而大大提高了产品的质量和成品率。
此外,梅曼公司的Elite系列高功率355nm紫外激光器还具有高光束质量和高光束稳定性的特点,这使得其可以提供更优秀的加工效果,减少划片工艺中的浪费和不良品率。

型号 MMEPG-532-10 MMEPG-532-15 MMEPG-532-20
激光参数  
波长(nm) 532nm
平均功率(W) >10W@40kHz >15W@40kHz >20W@40kHz
单脉冲能量(uJ) ~250uJ@40kHz ~370uJ@40kHz ~500uJ@40kHz
脉冲宽度(ns) ~15ns@40kHz
重复频率 20kHz-500kHz
脉冲稳定性 <3% rms
长期稳定性 <±3%
光束参数  
偏振比 垂直偏振;>100:1
光束直径 6mm(内置扩束镜)
光束圆度 >90%
光束质量 TEM00,M2<1.2
电源参数  
预热时间 冷启动时<15分钟
供电要求 DC12V,350W
环境温度 10-35℃,湿度<80%
存储温度 -10-40℃,湿度<90%
物理参数  
冷却方式 水冷
工作水温 25℃

 

 

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应用样品

太阳能电池划片,精密切割,标记-PCB和FPC

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