Green系列532nm高功率绿光激光器
Green系列532nm高功率绿光激光器
10-20W
激光功率
IP65
3层防护,IP65级防水
20000hours
使用寿命
梅曼公司的Elite系列高功率355nm紫外激光器是一款针对硅晶圆划片工艺所设计的高性能激光器。其独特的设计和先进的技术解决了紫外激光晶体损伤、激光器热效应以及光路失调与长期稳定性等核心问题,
使得激光器的寿命和功率稳定性得到质的改变,有效保证了高强度/高一致性加工的要求。
在硅晶圆的隐切和表面切割等划片工艺中,Elite系列高功率355nm紫外激光器表现出卓越的性能。它能够高效地完成硅晶圆的划片工艺,而且能够保持切割道路的整齐、光滑和一致性,从而大大提高了产品的质量和成品率。
此外,梅曼公司的Elite系列高功率355nm紫外激光器还具有高光束质量和高光束稳定性的特点,这使得其可以提供更优秀的加工效果,减少划片工艺中的浪费和不良品率。
型号 | MMEPG-532-10 | MMEPG-532-15 | MMEPG-532-20 |
激光参数 | |||
波长(nm) | 532nm | ||
平均功率(W) | >10W@40kHz | >15W@40kHz | >20W@40kHz |
单脉冲能量(uJ) | ~250uJ@40kHz | ~370uJ@40kHz | ~500uJ@40kHz |
脉冲宽度(ns) | ~15ns@40kHz | ||
重复频率 | 20kHz-500kHz | ||
脉冲稳定性 | <3% rms | ||
长期稳定性 | <±3% | ||
光束参数 | |||
偏振比 | 垂直偏振;>100:1 | ||
光束直径 | 6mm(内置扩束镜) | ||
光束圆度 | >90% | ||
光束质量 | TEM00,M2<1.2 | ||
电源参数 | |||
预热时间 | 冷启动时<15分钟 | ||
供电要求 | DC12V,350W | ||
环境温度 | 10-35℃,湿度<80% | ||
存储温度 | -10-40℃,湿度<90% | ||
物理参数 | |||
冷却方式 | 水冷 | ||
工作水温 | 25℃ |